MEMS加速度計

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：小野新次郎 , 小林泰 , 竹内茂雄 , 山本修 , 鐘ヶ江幸男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-239546
公開番号（公開出願番号）：特開2014-055976
特許番号：特許第5933510号
出願日： 2013年11月20日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】微小電気機械システム(MEMS)加速度計(40)であって、ヒンジタイプの屈曲部により吊るされるプルーフマス(42)と、前記プルーフマス上に位置する、少なくとも1つの平面コイル(46、48)と、前記コイルの平面に対して約30°から約60°の間の範囲の磁束角度で、磁束場が前記少なくとも1つのコイルを通るように位置決めされる少なくとも1つの磁石(50、52)と、を有する、MEMS加速度計。

IPC (1件)：