特許

J-GLOBAL ID：201603017034504882

モールド製造用構造体の製造方法、およびモールドの製造方法

発明者： 山下 太郎
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-122587
公開番号（公開出願番号）：特開2016-002665
出願日： 2014年06月13日
公開日（公表日）： 2016年01月12日
要約：

【課題】接合体の外周面に押圧力を適切に加えることができる、モールド製造用構造体の製造方法の提供。【解決手段】インプリント用の凹凸パターンが形成されるパターン形成面を有する、モールド製造用構造体の製造方法であって、第1板状体の接合面と第2板状体の接合面とを向かい合わせ、前記第1板状体と前記第2板状体とを接合し、接合体を得る接合工程と、前記接合体の外周面の段差を除去する段差除去工程とを有する、モールド製造用構造体の製造方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

インプリント用の凹凸パターンが形成されるパターン形成面を有する、モールド製造用構造体の製造方法であって、 第1板状体の接合面と第2板状体の接合面とを向かい合わせ、前記第1板状体と前記第2板状体とを接合し、接合体を得る接合工程と、 前記接合体の外周面の段差を除去する段差除去工程とを有する、モールド製造用構造体の製造方法。

IPC (3件)：

B29C 33/38 ,  B29C 59/02 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

B29C33/38 ,  B29C59/02 B ,  H01L21/30 502D

Fターム (21件)：

4F202AF01 ,  4F202AG05 ,  4F202AH33 ,  4F202AJ06 ,  4F202AJ09 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CD16 ,  4F202CD18 ,  4F202CD24 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AJ06 ,  4F209AJ08 ,  4F209AJ09 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PQ11 ,  5F146AA32