特許

J-GLOBAL ID：201603017103145652

窒化珪素質焼結体および加熱装置ならびに吸着装置

発明者： 大田 瑞穂 ,  石川 和洋 ,  織田 武廣
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013076359
公開番号（公開出願番号）：WO2014-051088
出願日： 2013年09月27日
公開日（公表日）： 2014年04月03日
要約：

【課題】 熱伝導率の高い窒化珪素質焼結体および加熱装置ならびに吸着装置を提供する。 【解決手段】本発明の窒化珪素質焼結体は、窒化珪素の結晶と、MgRE4Si3O13の結晶(REは希土類元素である)と、REMgSi2O5Nの結晶とを有することから、高い熱伝導率を有する。また、このような窒化珪素質焼結体からなる保護管を備える加熱装置は、ヒーターの熱を効率よく伝達することができる。さらに、このような窒化珪素質焼結体からなる吸着部材を備える吸着装置は、被吸着体が有する熱を効率よく放熱することができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

窒化珪素の結晶と、MgRE4Si3O13の結晶(REは希土類元素である)と、REMgSi2O5Nの結晶とを有することを特徴とする窒化珪素質焼結体。

IPC (4件)：

C04B 35/591 ,  C04B 35/584 ,  H05B 3/10 ,  F27D 11/02

FI (4件)：

C04B35/58 102V ,  C04B35/58 102C ,  H05B3/10 Z ,  F27D11/02 B

Fターム (29件)：

3K092PP10 ,  3K092SS12 ,  3K092SS14 ,  3K092VV31 ,  4G001BA01 ,  4G001BA06 ,  4G001BA08 ,  4G001BA09 ,  4G001BA32 ,  4G001BA62 ,  4G001BB01 ,  4G001BB32 ,  4G001BB48 ,  4G001BB51 ,  4G001BC17 ,  4G001BC23 ,  4G001BC24 ,  4G001BC34 ,  4G001BC48 ,  4G001BC52 ,  4G001BC54 ,  4G001BC62 ,  4G001BD03 ,  4G001BD04 ,  4G001BD12 ,  4G001BD37 ,  4G001BD38 ,  4G001BE15 ,  4K063FA14