ウェハ担持具上へウェハを方向定位するための装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：小島高城郎 , 河合典子 , 南俊宏
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-542209
公開番号（公開出願番号）：特表2016-500199
出願日： 2013年11月04日
公開日（公表日）： 2016年01月07日
要約：

【課題】サセプタにウェハを自動搭載することを改善する。【解決手段】ウェハ担持具11上にウェハを方向定位する装置が、ウェハ担持具11を設置するためのベース部品2と心出し部品1とを有し、ベース部品2はウェハ担持具11の対向心出し部分10と相互作用する心出し部分3を具備することにより、ウェハ担持具11がベース部品2に対する所定の位置をとることができ、心出し部品1はベース部品2の上方に配置され、ベース部品2に対して所定の位置にありかつ調整部品担持具5を具備する。調整部品担持具5の上に調整部品がウェハの輪郭に対応する配列にて配置されることにより、ウェハ担持具の支持面11’に平行な面にウェハの方向を向けさせる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ウェハ担持具(11)上へウェハを方向定位するための装置であって、前記ウェハ担持具(11)を載置するためのベース部品(2)と、心出し部品(1)と、を有し、前記ベース部品(2)は心出し部分(3)を具備し、前記心出し部分(3)は前記ウェハ担持具(11)の対向心出し部分(10)と協働することにより前記ベース部品(2)上に載置された前記ウェハ担持具(11)が前記ベース部品(2)に対して予め決定された位置をとることとなり、前記心出し部品(1)は前記ベース部品(2)の上方に配置され、前記ベース部品(2)に対して予め決められた位置にありかつ調整部品担持具(5)を具備し、前記調整部品担持具(5)上に複数の調整部品(6)が前記ウェハの輪郭に対応した配列にて配置されており、前記調整部品(6)は、前記ウェハの方向を前記ウェハ担持具の支持面(11’)に平行な面に向けさせるものである、ウェハの方向定位装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , H01L 21/683 , H01L 21/31

FI (3件)：

H01L21/68 G , H01L21/68 N , H01L21/31 F

Fターム (17件)：

4K029JA05 , 4K029KA01 , 4K030GA12 , 5F045BB02 , 5F045EN04 , 5F045EN06 , 5F131AA02 , 5F131BA01 , 5F131CA06 , 5F131CA18 , 5F131DA33 , 5F131DA42 , 5F131EA23 , 5F131EB53 , 5F131EB72 , 5F131FA14 , 5F131FA32

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