特許

J-GLOBAL ID：201603017159672280

パージストッカ

発明者： 村田 正直 ,  山路 孝 ,  大西 真司
出願人/特許権者： 村田機械株式会社
代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柴山 健一 ,  ▲高▼口 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-143500
公開番号（公開出願番号）：特開2016-021429
出願日： 2014年07月11日
公開日（公表日）： 2016年02月04日
要約：

【課題】流量制御装置から発生する熱が被格納物に影響を及ぼすことを抑制することができるパージストッカを提供する。【解決手段】パージストッカ1は、パーティション3により画成された内部空間Aを有し、内部空間に配置された被格納物が格納された格納容器Fの内部をパージガスによってパージ処理するパージ装置30を備えたパージストッカであって、格納容器が載置される載置部31と、載置部に載置された格納容器にパージガスを供給する供給管41と、供給管におけるパージガスの流量を調整するMFC43と、を備え、内部空間Aは、載置部が配置される保管空間A1と、流量制御装置が配置される隔離空間A2と、を有し、第1空間と前記第2空間との間には、仕切部材51が配置されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

筐体により画成される内部空間を有し、前記内部空間に配置される被格納物が格納される格納容器の内部をパージガスによってパージ処理するパージ装置を備えたパージストッカであって、 前記格納容器が載置される載置部と、 前記載置部に載置される前記格納容器に前記パージガスを供給する供給管と、 前記供給管における前記パージガスの流量を調整する流量制御装置と、 を備え、 前記内部空間は、前記載置部が配置される第1空間と、前記流量制御装置が配置される第2空間と、を有し、前記第1空間と前記第2空間との間には、仕切部材が配置されている、パージストッカ。

IPC (2件)：

H01L 21/673 ,  B65G 1/00

FI (2件)：

H01L21/68 T ,  B65G1/00 521D

Fターム (25件)：

3F022AA08 ,  3F022BB09 ,  3F022EE05 ,  3F022FF01 ,  3F022JJ09 ,  3F022KK16 ,  3F022LL12 ,  3F022MM51 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131CA02 ,  5F131DA05 ,  5F131DA37 ,  5F131DC06 ,  5F131DC26 ,  5F131GA14 ,  5F131GA92 ,  5F131GB14 ,  5F131GB27 ,  5F131JA04 ,  5F131JA05 ,  5F131JA16 ,  5F131JA24 ,  5F131JA27 ,  5F131JA32