レジストパターン形成方法及び感放射線性樹脂組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：天野一規
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-218772
公開番号（公開出願番号）：特開2016-085382
出願日： 2014年10月27日
公開日（公表日）： 2016年05月19日
要約：

【課題】EUVのショットノイズに起因すると考えられるLWRを、露光量を増やすことなく感放射線性樹脂組成物のパラメータを調整することにより抑制する新規なパターン形成方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、感放射線性樹脂組成物でレジスト膜を形成する工程、レジスト膜をEUV又は電子線で露光する工程、及び露光されたレジスト膜を現像する工程を有し、上記感放射線性樹脂組成物が、[A](i)疎水性を表すClogPの値が2.8以上である、(ii)膜厚が100nmのレジスト膜を23°C、2.38質量%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に浸漬させたときの溶解速度の最大値(Rmax)が5.0μm/s以上である、前記(i)、(ii)の少なくとも1つを満たす重合体、及び[B](i)発生する酸のpKaが-1以下である、(ii)発生する酸の105°Cにおける拡散係数が8〜30nm2/secである、前記(i)、(ii)の少なくとも1つを満たす感放射線性酸発生体を含有するレジストパターン形成方法である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

感放射線性樹脂組成物でレジスト膜を形成する工程、上記レジスト膜をEUV又は電子線で露光する工程、及び上記露光されたレジスト膜を現像する工程を有し、上記感放射線性樹脂組成物が、 [A]下記(i)、(ii)の少なくとも1つを満たす重合体、 (i)疎水性を表すClogPの値が2.5以上である、 (ii)膜厚が100nmのレジスト膜を23°C、2.38質量%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に浸漬させたときの溶解速度の最大値(Rmax)が5.0μm/s以上である、及び [B]下記(i)、(ii)の少なくとも1つを満たす感放射線性酸発生体、 (i)発生する酸のpKaが-1以下である、 (ii)発生する酸の105°Cにおける拡散係数Dが5〜30nm2/secである、を含有するレジストパターン形成方法。

IPC (5件)：

G03F 7/039 , G03F 7/004 , H01L 21/027 , C08F 20/28 , C08F 12/22

FI (5件)：

G03F7/039 601 , G03F7/004 503A , H01L21/30 502R , C08F20/28 , C08F12/22

Fターム (93件)：

2H125AF17P , 2H125AF18P , 2H125AF34P , 2H125AF38P , 2H125AF41P , 2H125AF70P , 2H125AH05 , 2H125AH16 , 2H125AH19 , 2H125AH23 , 2H125AH24 , 2H125AJ04X , 2H125AJ14X , 2H125AJ14Y , 2H125AJ42X , 2H125AJ42Y , 2H125AJ43X , 2H125AJ43Y , 2H125AJ52X , 2H125AJ52Y , 2H125AJ64X , 2H125AJ65X , 2H125AN39P , 2H125AN57P , 2H125AN63P , 2H125BA01P , 2H125BA26P , 2H125CA12 , 2H125CB12 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125CD01P , 2H125CD02P , 2H125CD05P , 2H125CD07P , 2H125CD31 , 2H125CD35 , 2H125CD37 , 2H225AF24P , 2H225AF48P , 2H225AF53P , 2H225AF54P , 2H225AF66P , 2H225AF68P , 2H225AF71P , 2H225AF99P , 2H225AH03 , 2H225AH16 , 2H225AH19 , 2H225AH38 , 2H225AJ04 , 2H225AJ13 , 2H225AJ42 , 2H225AJ43 , 2H225AJ51 , 2H225AJ53 , 2H225AJ54 , 2H225AN39P , 2H225AN57P , 2H225AN63P , 2H225BA01P , 2H225BA26P , 2H225CA12 , 2H225CB14 , 2H225CC03 , 2H225CC15 , 4J100AB07P , 4J100AB07Q , 4J100AB07R , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AM21Q , 4J100AR10R , 4J100AU29R , 4J100BA02P , 4J100BA02R , 4J100BA03Q , 4J100BA03R , 4J100BA05R , 4J100BA56R , 4J100BB18R , 4J100BC03P , 4J100BC04P , 4J100BC04R , 4J100BC08P , 4J100BC09P , 4J100BC43Q , 4J100BC49Q , 4J100BC53R , 4J100CA05 , 4J100DA01 , 4J100DA04 , 4J100JA38

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