特許
J-GLOBAL ID：201603017378956138
基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
稲岡 耕作
, 川崎 実夫
, 五郎丸 正巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-165555
公開番号（公開出願番号）：特開2016-042517
出願日： 2014年08月15日
公開日（公表日）： 2016年03月31日
要約：
【課題】混触に適さないような組合せの薬液の混触がバットにおいて発生するのを確実に防止できる基板処理装置を提供すること。【解決手段】基板処理装置1は、硫酸含有液ノズル21を、第1の外側空間OS1に設定された第1のホーム位置29と処理位置との間を移動させる第1のアーム揺動ユニット24と、有機溶剤ノズル33を、第2の外側空間OS2に設定された第2のホーム位置41と処理位置との間を移動させる第2のアーム揺動ユニット36と、処理チャンバ2の底部に配置されるバット9とを含む。バット9は、内側空間ISの底部に配置される内バット60と、第1の外側空間OS1の底部に配置される第1の外バット61と、第2の外側空間OS2の底部に配置される第2の外バット62とを含む。処理チャンバ2の底部において、第1の外側空間OS1と第2の外側空間OS2とは隔離されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
処理チャンバと、
前記処理チャンバの内部に配置され、基板を保持する基板保持機構と、
前記処理チャンバの内部に配置され、前記基板保持機構の周囲を包囲する筒状の処理カップと、
前記基板保持機構に保持されている基板に第1薬液を吐出する第1薬液ノズルと、
前記基板保持機構に保持されている基板に、前記第1薬液とは種類の異なる第2薬液を吐出する第2薬液ノズルと、
前記第1薬液ノズルを、前記処理チャンバの内部の所定空間であって、平面視で前記処理カップの外側の空間である第1の外側空間と、前記基板保持機構に保持されている基板の上方との間を移動させる第1の移動機構と、
前記第2薬液ノズルを、前記処理チャンバの内部の所定空間であって、平面視で前記処理カップの外側の空間でありかつ前記第1の外側空間とは別の第2の外側空間と、前記基板保持機構に保持されている基板の上方との間を移動させる第2の移動機構と、
少なくとも前記第1の外側空間の底部に配置され、上方からの液を受けて、第1の排液口に向けて案内する第1のバットと、
前記第2の外側空間の底部に配置され、上方からの液を受けて、上方から液を受け、当該受けた液を、前記第1の排液口とは別の第2の排液口に向けて案内する第2のバットとを含み、
前記第1の外側空間と前記第2の外側空間とは、少なくとも底部において隔離されている、基板処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304
, H01L 21/027
H01L21/304 643A
, H01L21/304 648K
, H01L21/30 572B
5F146MA10
, 5F146MA19
, 5F157AA64
, 5F157AB02
, 5F157AB33
, 5F157AB90
, 5F157AC26
, 5F157BB23
, 5F157BE43
, 5F157CB01
, 5F157CB13
, 5F157CB14
, 5F157CF24
, 5F157CF64
, 5F157DA01
