圧電体膜とその製造方法、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドを用いて画像を形成する方法、角速度センサ、角速度センサを用いて角速度を測定する方法、圧電発電素子ならびに圧電発電素子を用いた発電方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：内藤浩樹 , 藤井兼太郎 , 寺内伊久郎
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013002426
公開番号（公開出願番号）：WO2014-020799
出願日： 2013年04月10日
公開日（公表日）： 2014年02月06日
要約：

本発明の目的は、高い結晶配向性および高い強誘電特性を有するNBT-BT非鉛圧電体膜を提供することである。本発明の圧電体膜は、(001)配向のみを有する(1-α)(Bi,Na,Ba)TiO3-αBiQO3層を具備する。(1-α)(Bi,Na,Ba)TiO3-αBiQO3層は、NaxM1-x層上に形成されており、Mは、Pt、Ir、またはPtIrを表し、Qは、Fe、Co、Zn0.5Ti0.5、またはMg0.5Ti0.5を表し、xは0.002以上0.02以下の値を表し、そしてαは0.20以上0.50以下の値を表す。

請求項（抜粋）：

以下を具備する圧電体膜: (001)配向のみを有するNaxM1-x層、および (001)配向のみを有する(1-α)(Bi,Na,Ba)TiO3-αBiQO3層、ここで、前記(1-α)(Bi,Na,Ba)TiO3-αBiQO3層は、前記NaxM1-x層上に形成されており、 Mは、Pt、Ir、またはPtIrを表し、 Qは、Fe、Co、Zn0.5Ti0.5、またはMg0.5Ti0.5を表し、 xは0.002以上0.02以下の値を表し、そしてαは0.20以上0.50以下の値を表す。

IPC (12件)：

H01L 41/187 , H01L 41/09 , H01L 41/047 , H01L 41/316 , H01L 41/338 , H01L 41/311 , H01L 41/113 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , G01C 19/562 , H02N 2/00 , C23C 14/08

FI (11件)：

H01L41/187 , H01L41/09 , H01L41/047 , H01L41/316 , H01L41/338 , H01L41/311 , H01L41/113 , B41J3/04 103A , G01C19/56 128 , H02N2/00 B , C23C14/08 K

Fターム (21件)：

2C057AF93 , 2C057AG44 , 2C057AP14 , 2C057BA04 , 2C057BA14 , 2F105AA02 , 2F105AA08 , 2F105BB02 , 2F105BB14 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 4K029AA04 , 4K029AA24 , 4K029BA50 , 4K029BB09 , 4K029CA06 , 4K029DC05 , 4K029DC09 , 4K029DC35 , 4K029DC39

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