特許
J-GLOBAL ID：201603017388955229
六角形モジュールを使用して構築されるプローブ-カードインターポーザ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
三好 秀和
, 伊藤 正和
, 原 裕子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-505139
特許番号：特許第5938464号
出願日： 2012年03月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数個のモジュールを含むインターポーザであって、
前記複数個のモジュールは、第1形状、前記第1形状の第1の部分、及び前記第1形状の第2の部分の群から選択される少なくとも2つの形状を含み、
前記複数個のモジュールは、前記インターポーザに組み立てられるとき前記インターポーザに外接する円を実質的に充填する、インターポーザ。
IPC (2件)：
H01L 21/66 ( 200 6.01)
, G01R 31/26 ( 201 4.01)
H01L 21/66 B
, G01R 31/26 J
