特許
J-GLOBAL ID：201603017807304942
容量式物理量検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 サトー国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-023301
公開番号（公開出願番号）：特開2014-153204
特許番号：特許第5949589号
出願日： 2013年02月08日
公開日（公表日）： 2014年08月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ばね部を介して支持され物理量の作用に応じて変位する可動電極部と、この可動電極部の変位方向両側に夫々隙間をもって配置された第1、第2の一対の固定電極部とを有するセンサエレメントを備えると共に、前記各固定電極部が接続される非反転及び反転の2個の入力端子と、第1及び第2の2個の出力端子とを有する全差動型のC-V変換回路を備えて構成され、
前記可動電極部にパルス状の搬送波を印加した状態で、前記可動電極部の変位に応じた前記各固定電極部と可動電極部との間の静電容量の変化を、前記C-V変換回路の2個の出力端子間の電位差として出力するようにした容量式物理量検出装置であって、
前記第1の固定電極部を前記C-V変換回路の非反転入力端子に接続し且つ前記第2の固定電極部を前記C-V変換回路の反転入力端子に接続した正転状態と、前記第1の固定電極部を前記C-V変換回路の反転入力端子に接続し且つ前記第2の固定電極部を前記C-V変換回路の非反転入力端子に接続した反転状態とを選択的に切替えるためのチョッピング回路と、
前記第1、第2の固定電極部に夫々一定電圧を印加する電圧印加手段と、
前記正転状態で前記C-V変換回路の出力を検出する正転区間と、前記反転状態で前記C-V変換回路の出力を検出する反転区間と、前記電圧印加手段により第1、第2の固定電極部に夫々一定電圧を印加した状態で前記C-V変換回路の出力を検出する第3区間とを、周期的に繰返すように前記チョッピング回路及び電圧印加手段の切替え制御を行う切替制御手段と、
前記C-V変換回路の出力から装置異常を診断する異常診断手段とを備えると共に、
前記異常診断手段は、前記3つの区間のうち、前記正転区間における第1の出力端子の出力と前記反転区間における第2の出力端子の出力とが一致するかどうかの第1の判定、前記正転区間における第2の出力端子の出力と前記反転区間における第1の出力端子の出力とが一致するかどうかの第2の判定、前記第3区間における第1の出力端子の出力及び第2の出力端子の出力が予め予測された出力に一致するかどうかの第3の判定を行い、
前記第3の判定が一致し且つ前記第1の判定又は第2の判定の少なくともいずれかに不一致があった場合に前記センサエレメントに異常があり、前記第3の判定に不一致があった場合に前記C-V変換回路に異常があると診断することを特徴とする容量式物理量検出装置。
IPC (4件)：
G01P 15/125 ( 200 6.01)
, G01P 21/00 ( 200 6.01)
, G01C 19/5726 ( 201 2.01)
, G01D 5/24 ( 200 6.01)
G01P 15/125 V
, G01P 21/00
, G01C 19/572
, G01D 5/24 D
