特許
J-GLOBAL ID：201603017873836513
振動片の製造方法、振動子の製造方法、振動子、発振器および電子機器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
増田 達哉
, 朝比 一夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-059329
公開番号（公開出願番号）：特開2013-197620
特許番号：特許第5953845号
出願日： 2012年03月15日
公開日（公表日）： 2013年09月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 回転Yカットの水晶基板を用意する工程と、
前記水晶基板の+Y’軸側の主面に第1マスクを配置し、-Y’軸側の主面に前記第1マスクに対して+Z’軸側にずれた位置となるように第2マスクを配置し、前記第1マスクおよび前記第2マスクを介して前記水晶基板をエッチングすることによって、前記水晶基板に+Y’軸側に突出した第1凸部および-Y’軸側に突出した第2凸部を含む振動部と、前記振動部の外縁に沿って配置された前記振動部の厚みよりも厚みの薄い薄肉部と、を含むメサ型基板を形成する工程と、
前記メサ型基板に導体パターンを形成する工程と、を含み、
前記第1マスクおよび前記第2マスクのZ’軸方向のズレ量をDとし、
前記薄肉部の+Y’軸側の主面からの前記第1凸部の主面の高さと、前記薄肉部の-Y’軸側の主面からの前記第2凸部の主面の高さとの和をtとしたとき、
前記Dと前記tとの関係は、0<D≦t/2を満足することを特徴とする振動片の製造方法。
IPC (7件)：
H03H 3/02 ( 200 6.01)
, H03H 9/19 ( 200 6.01)
, H03B 5/32 ( 200 6.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
, H01L 41/18 ( 200 6.01)
, H01L 41/22 ( 201 3.01)
, H01L 41/08 ( 200 6.01)
H03H 3/02 B
, H03H 9/19 E
, H03H 9/19 D
, H03B 5/32 H
, H01L 41/08 C
, H01L 41/08 L
, H01L 41/18 101 A
, H01L 41/22
, H01L 41/08 Z
