特許

J-GLOBAL ID：201603018091497473

力検知素子

発明者： 水野 健太朗 ,  野村 勝也 ,  田口 理恵 ,  橋本 昭二 ,  大平 喜恵
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 特許業務法人快友国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-112318
公開番号（公開出願番号）：特開2014-232028
特許番号：特許第6028677号
出願日： 2013年05月28日
公開日（公表日）： 2014年12月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 溝を横断して伸びているメサ段差に形成されているゲージ部を有する半導体基板と、 前記メサ段差の頂面と前記溝の周縁部の表面に接触する力伝達ブロックと、を備えており、 前記メサ段差は、前記溝の前記周縁部に接続する第1端部と前記溝の前記周縁部に接続する第2端部の間を第1方向に沿って伸びており、 前記第1方向に直交する第2方向に沿って計測したときに、前記第1端部から前記溝の前記周縁部までの距離を第1距離とし、前記第2端部から前記溝の前記周縁部までの距離を第2距離とし、前記第1端部と前記第2端部の間の中間部から前記溝の前記周縁部までの距離を第3距離とすると、前記第3距離は前記第1距離及び第2距離よりも短い力検知素子。

IPC (2件)：

G01L 1/18 ( 200 6.01) ,  H01L 29/84 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01L 1/18 A ,  H01L 29/84 A