特許
J-GLOBAL ID：201603018137637704
RFマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム(MEMS)静電容量スイッチ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
, 大貫 進介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-510242
特許番号：特許第6017677号
出願日： 2012年05月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム(MEMS)スイッチであって、
上面を有する第1の電極と、
第2の電極であり、前記第1の電極と当該第2の電極との間に電位差を印加されることに応じて、前記第1の電極に向かって変位されるように構成される第2の電極と、
前記第1の電極の前記上面上のパターン化された誘電材料であり、当該パターン化された誘電材料は、前記第2の電極が前記第1の電極に接触することを阻止する1つ以上の誘電性の接触面を支持した、前記第1の電極と前記第2の電極との間の前記第1の電極の前記上面上の複数のポストを有する、パターン化された誘電材料と、
前記第2の電極内の複数のホールであり、前記ポスト各々が当該複数のホールのうちの異なる1つに位置を揃えられている、複数のホールと
を有し、
前記ホール各々が、該ホールが位置を揃えられているポストの少なくとも中央部分とオーバラップするように、前記変位された第2の電極が、前記複数のホールの周囲で前記1つ以上の誘電性の接触面と接触する、
MEMSスイッチ。
IPC (2件)：
H01H 59/00 ( 200 6.01)
, B81B 3/00 ( 200 6.01)
