特許

J-GLOBAL ID：201603018224004475

懸架されたボロメータマイクロプレートで構成された赤外線検出器

発明者： サリム・ブタミ ,  ジョフロワ・デュモン ,  ジェローム・アザール ,  ジャン-ジャック・ヨン
出願人/特許権者： コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ
代理人 (4件)： 村山 靖彦 ,  志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  実広 信哉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-542918
特許番号：特許第6019128号
出願日： 2012年11月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 赤外線波長又はテラヘルツ波長の所定の範囲内の電磁放射の検出用のアレイボロメータ検出器であって、 基板(16)と、 前記放射の検出用に、支持素子(18)によって前記基板の上に懸架されたボロメータマイクロプレート(14)のアレイと、 検出される放射に対して少なくとも部分的に透明であり、h2=(m×λ)/(2×n2)の関係式を実質的に満たす厚さを有する支持層(50)であって、h2が該厚さであり、n2が該支持層の屈折率であり、mが1以上の正の整数である、支持層(50)と、 検出される放射に対して実質的に透明であり、前記支持層(50)の上に存在していて、第一屈折率を有し、各マイクロプレートの周りに配置された膜(22)であって、該膜の厚さの少なくとも一部にわたって、前記第一屈折率よりも小さな第二屈折率を有するパターン(26)が形成されている、膜(22)とを備え、 前記膜(22)のパターン(26)が、λ/n以下の周期で、少なくとも一つの所定の軸に沿って、前記膜の中に周期的に配置されていて、λが、検出される波長範囲の波長であり、nが、前記マイクロプレート(14)を前記膜(22)から離隔する媒体の平均屈折率であり、 各所定の軸に沿った前記パターン(26)の幅が、前記マイクロプレート(14)の中心領域の上に位置する前記膜(22)の箇所から前記膜(22)の周辺に向けて増大していることを特徴とするアレイボロメータ検出器。

IPC (1件)：

G01J 1/02 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G01J 1/02 C