ユーロピウム含有薄膜形成用前駆体及びユーロピウム含有薄膜の形成方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下茂
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-507276
特許番号：特許第5860454号
出願日： 2012年02月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 Eu[C5(CH3)4R]2(式中、Rは炭素数2以上のアルキル基)で表されるビス(テトラメチルモノアルキルシクロペンタジエニル)ユーロピウム。

IPC (4件)：

C07F 5/00 ( 200 6.01) , C23C 16/40 ( 200 6.01) , H01L 21/316 ( 200 6.01) , H01L 21/318 ( 200 6.01)

FI (4件)：

C07F 5/00 CSP D , C23C 16/40 , H01L 21/316 X , H01L 21/318 B

引用特許：

出願人引用 (1件)

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