特許

J-GLOBAL ID：201603018510979270

強誘電体膜及びその製造方法

発明者： 桜井 英章 ,  藤井 順 ,  曽山 信幸
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (2件)： 須田 正義 ,  村澤 彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-054836
公開番号（公開出願番号）：特開2016-184728
出願日： 2016年03月18日
公開日（公表日）： 2016年10月20日
要約：

【課題】寿命信頼性に優れた強誘電体膜とその製造方法を提供する。【解決手段】複数の焼成膜からなる強誘電体膜であって、Pb、Zr及びTiを含有するペロブスカイト構造の金属酸化物からなり、Li、Na及びKの合計含有量が3質量ppm以下であり、前記複数の焼成膜を構成する各焼成膜の一方の面におけるLi、Na及びKの合計含有量が、他方の面におけるLi、Na及びKの合計含有量の5倍以上である。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

複数の焼成膜からなる強誘電体膜であって、 Pb、Zr及びTiを含有するペロブスカイト構造の金属酸化物からなり、 Li、Na及びKの合計含有量が3質量ppm以下であり、 前記複数の焼成膜を構成する各焼成膜の一方の面におけるLi、Na及びKの合計含有量が、他方の面におけるLi、Na及びKの合計含有量の5倍以上である ことを特徴とする強誘電体膜。

IPC (8件)：

H01L 41/187 ,  C04B 35/491 ,  C01G 25/00 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/105 ,  H01L 41/43 ,  H01L 41/317

FI (7件)：

H01L41/187 ,  C04B35/49 A ,  C01G25/00 ,  H01L21/316 G ,  H01L27/10 444C ,  H01L41/43 ,  H01L41/317

Fターム (30件)：

4G031AA01 ,  4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA32 ,  4G031BA10 ,  4G031CA08 ,  4G048AA04 ,  4G048AB02 ,  4G048AC02 ,  4G048AC08 ,  4G048AD02 ,  4G048AD08 ,  4G048AE08 ,  5F058BA11 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BF46 ,  5F058BH01 ,  5F058BJ04 ,  5F083FR00 ,  5F083GA06 ,  5F083GA11 ,  5F083GA30 ,  5F083HA10 ,  5F083JA15 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083PR23 ,  5F083PR33 ,  5F083PR34

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 強誘電体薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-042306   出願人：三菱マテリアル株式会社

審査官引用 (1件)

• 強誘電体薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-042306   出願人：三菱マテリアル株式会社