特許
J-GLOBAL ID：201603018521346008
収差補正方法、および収差補正装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
岡部 讓
, 臼井 伸一
, 越智 隆夫
, 高橋 誠一郎
, 吉澤 弘司
, 齋藤 正巳
, 木村 克彦
, 田中 尚文
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-025026
公開番号（公開出願番号）：特開2013-158599
特許番号：特許第5997450号
出願日： 2012年02月08日
公開日（公表日）： 2013年08月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被検査物に測定光を照射することにより得られる反射光の第一の偏光成分の収差を測定する第一の収差測定工程と、
前記第一の偏光成分の収差の測定値に応じて第一の収差補正手段を制御することで前記第一の偏光成分の収差を補正する第一の収差補正工程と、
前記第一の収差補正工程において補正された収差の値が所定の値未満となった場合に、当該場合における前記第一の収差補正手段に対する制御に基づいて第二の収差補正手段を制御することで前記第一の偏光成分とは異なる前記反射光の第二の偏光成分の収差を補正する第二の収差補正工程と、
を有することを特徴とする収差補正方法。
IPC (5件)：
A61B 3/103 ( 200 6.01)
, A61B 3/10 ( 200 6.01)
, A61B 3/12 ( 200 6.01)
, A61B 5/107 ( 200 6.01)
, A61B 1/00 ( 200 6.01)
A61B 3/10 ZDM N
, A61B 3/10 R
, A61B 3/12 E
, A61B 5/10 300 Q
, A61B 1/00 300 Y
