特許
J-GLOBAL ID：201603018603057810
研削装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松本 昂
, 大上 寛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-025827
公開番号（公開出願番号）：特開2013-158902
特許番号：特許第5850759号
出願日： 2012年02月09日
公開日（公表日）： 2013年08月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被加工物が粘着シート上に貼着されるとともに該粘着シートを介して環状フレームに装着された形態の被加工物ユニットの該被加工物を研削する研削装置であって、
被加工物を保持する保持面を有し、該被加工物ユニットの被加工物を該粘着シートを介して保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された被加工物が該粘着シートを介して装着された該環状フレームを支持する支持部と、該支持部の上方から該支持部に支持された該環状フレームを該支持部とともに挟持する押さえ部とからなり、該押さえ部の上面が該チャックテーブルの保持面より下方となるように該環状フレームを固定するフレーム固定手段と、
該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削ホイールを回転可能に支持する研削手段と、
該押さえ部の上面が該チャックテーブルの該保持面よりも下方に位置付けられているか否かを検出するフレーム検出手段と、
を具備したことを特徴とする研削装置。
IPC (4件)：
B24B 41/06 ( 201 2.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
, B24B 49/10 ( 200 6.01)
, B24B 7/04 ( 200 6.01)
B24B 41/06 L
, H01L 21/304 622 G
, H01L 21/304 631
, B24B 49/10
, B24B 7/04 Z
, H01L 21/304 622 H
