液体吐出装置、インプリント装置および物品製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：大塚康徳 , 高柳司郎 , 大塚康弘 , 木村秀二 , 下山治 , 永川行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-133925
公開番号（公開出願番号）：特開2016-032103
出願日： 2015年07月02日
公開日（公表日）： 2016年03月07日
要約：

【課題】異常を検知することが可能な液体吐出装置を提供する。【解決手段】液体吐出装置は、吐出ノズル11から吐出される第1液体を収容する第1室15と第2液体を収容する第2室16とに仕切り部材14によって分割された収容室12と、第1室15に収容される第1液体の減少に応じて第2室16に第2液体を供給する供給部と、第2室16内への第1液体の流入を測定する測定部20と、を備える。測定領域22における液体の屈折率を測定部20で測定することで、異常を検知でき、制御部が測定部20の測定結果に基づいて、仕切り部材14の破損の発生(異常)を判定する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

吐出口から吐出される第1液体を収容する第1室と第2液体を収容する第2室とに仕切り部材によって分割された収容室と、前記第1室に収容される前記第1液体の減少に応じて前記第2室に前記第2液体を供給する供給部と、前記第2室内への前記第1液体の流入を測定する測定部と、を備えることを特徴とする液体吐出装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , B29C 59/02 , B05C 5/00 , B05C 11/00 , B05D 1/26

FI (6件)：

H01L21/30 502D , B29C59/02 Z , B05C5/00 101 , B05C11/00 , B05D1/26 Z , H01L21/30 564Z

Fターム (33件)：

4D075CA22 , 4D075CB06 , 4D075DA06 , 4D075DB13 , 4D075DB14 , 4D075DB31 , 4D075DC22 , 4D075DC27 , 4D075EA05 , 4F041AA02 , 4F041AA05 , 4F041AB01 , 4F041BA10 , 4F041BA32 , 4F041BA34 , 4F041BA51 , 4F042AA02 , 4F042AA06 , 4F042DH09 , 4F209AA44 , 4F209AF01 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209AR20 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC01 , 4F209PC05 , 4F209PN09 , 4F209PQ11 , 5F146AA17 , 5F146AA31 , 5F146AA33

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