特許

J-GLOBAL ID：201603018910762610

化合物、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

発明者： 市川 幸司 ,  吉田 昌史 ,  鈴木 雄喜
出願人/特許権者： 住友化学株式会社
代理人 (1件)： 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-211253
公開番号（公開出願番号）：特開2013-100260
特許番号：特許第5913031号
出願日： 2012年09月25日
公開日（公表日）： 2013年05月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 式(I)で表される化合物。 [式(I)中、 R1及びR2は、それぞれ独立に、炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基を表すか又はR1及びR2が互いに結合し、それらが結合している炭素原子とともに炭素数5〜20の環を形成する。 R4は、エチレン性二重結合を含む基を表す。 Wは、炭素数6〜18の2価の脂環式炭化水素基を表す。 T1は、単結合、炭素数1〜6の2価の脂肪族炭化水素基又は式(a-1)で表される基を表す。 (式(a-1)中、 sは0又は1を表す。 X10及びX11は、それぞれ独立に、酸素原子、カルボニル基、カルボニルオキシ基又はオキシカルボニル基を表す。 A10、A11及びA12は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基を表す。) T2は、炭素数1〜6の2価の脂肪族炭化水素基又は式(a-2)で表される基を表す。 (式(a-2)中、 tは0又は1を表す。 X12及びX13は、それぞれ独立に、酸素原子、カルボニル基、カルボニルオキシ基又はオキシカルボニル基を表す。 A13及びA15は、それぞれ独立に、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基を表す。 A14は、置換基を有していてもよい炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基を表す。)]

IPC (5件)：

C07D 317/24 ( 200 6.01) ,  C07D 317/72 ( 200 6.01) ,  G03F 7/004 ( 200 6.01) ,  G03F 7/039 ( 200 6.01) ,  C08F 20/18 ( 200 6.01)

FI (6件)：

C07D 317/24 CSP ,  C07D 317/72 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/039 601 ,  C08F 20/18