特許
J-GLOBAL ID：201603018959316721
異物検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉浦 秀幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-068421
公開番号（公開出願番号）：特開2014-190922
特許番号：特許第6026936号
出願日： 2013年03月28日
公開日（公表日）： 2014年10月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 一定方向に移動する試料に対して一次X線を照射するX線源と、
少なくとも前記試料の移動方向に複数のスリットが並んで構成され前記一次X線を照射された前記試料から発生する二次X線の一部の平行成分を取りだして平行な二次X線を出射する平行二次元スリットと、
前記平行な二次X線から特定の蛍光X線を分光する分光素子と、
前記蛍光X線を受光するTDIセンサと、
前記TDIセンサを制御し前記蛍光X線に対応した異物を検出する制御部とを備え、
前記制御部が、前記TDIセンサの電荷転送の方向及び速度を前記試料の移動方向及び速度に合わせ、前記TDIセンサが受光した前記蛍光X線の輝度値を積算することを特徴とする異物検出装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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