研磨材粒子の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人光陽国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013074379
公開番号（公開出願番号）：WO2014-045939
出願日： 2013年09月10日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
要約：

本発明の課題は、酸化セリウムの使用量を抑制し、より高い耐久性及び研磨速度を示す研磨材粒子を効率的に製造する研磨材粒子の製造方法を提供することである。研磨材粒子の製造方法において、第1の元素の塩を含む水溶液によりコア層1を形成させるコア層形成工程Aと、反応溶液に第2の元素の塩及びCeの塩を含む水溶液を添加して中間層2を形成させる中間層形成工程Bと、反応溶液にCeの塩を含む水溶液を添加してシェル層3を形成させるシェル層形成工程Cと、固液分離工程Dと、焼成工程Eと、を備え、添加される水溶液について、水溶液に含まれる第1の元素、第2の元素とCeの合計及びCeの単位時間当たりの添加量を減少させることなく調整し、コア層形成工程Aにおいて最初に添加される水溶液に含まれる第1の元素の添加量よりも、シェル層形成工程Cにおいて最後に添加される水溶液に含まれるCeの添加量を増加させる。

請求項（抜粋）：

研磨材粒子の製造方法において、 Al、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Zr、In、Sn、Y、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、W、Bi、Th及びアルカリ土類金属から選ばれる少なくとも1種の第1の元素の塩により調製された水溶液に、当該第1の元素の塩により調整された濃度の異なる水溶液を添加して、当該第1の元素の塩を主成分とする前記研磨材粒子の前駆体のコア層を形成させるコア層形成工程と、前記コア層が形成された前記第1の元素の塩を分散させる反応溶液に、前記Al、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Zr、In、Sn、Y、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、W、Bi、Th及びアルカリ土類金属から選ばれる少なくとも1種の第2の元素の塩並びにCeの塩により調製された水溶液を添加して、前記コア層の外側に前記第2の元素の塩及びCeの塩を含む前記研磨材粒子の前駆体の中間層を形成させる中間層形成工程と、前記中間層が形成された前記第2の元素及び前記Ceの塩を分散させる反応溶液に、Ceの塩により調整された水溶液を添加して、前記中間層の外側に当該Ceの塩を主成分とする前記研磨材粒子の前駆体のシェル層を形成させるシェル層形成工程と、前記シェル層形成工程により得られる反応溶液から前記研磨材粒子の前駆体を固液分離する固液分離工程と、前記固液分離工程で得られた前記研磨材粒子の前駆体を空気中又は酸化性雰囲気中で焼成する焼成工程と、を備え、前記コア層形成工程において最初に添加される水溶液から前記シェル層形成工程において最後に添加される水溶液までの水溶液について、前記コア層形成工程において添加される水溶液に含まれる前記第1の元素、前記中間層形成工程において添加される水溶液に含まれる前記第2の元素とCeの合計及び前記シェル層形成工程において添加される水溶液に含まれるCeの単位時間当たりの添加量を減少させることなく調整し、前記コア層形成工程において最初に添加される水溶液に含まれる前記第1の元素の添加量よりも、前記シェル層形成工程において最後に添加される水溶液に含まれる前記Ceの添加量を増加させることを特徴とする研磨材粒子の製造方法。

IPC (3件)：

C09K 3/14 , B24D 3/00 , C01F 17/00

FI (4件)：

C09K3/14 550D , B24D3/00 340 , B24D3/00 330D , C01F17/00 B

Fターム (24件)：

3C063BA31 , 3C063BB01 , 3C063BB13 , 3C063CC01 , 3C063EE10 , 3C063EE15 , 4G076AA02 , 4G076AA18 , 4G076AB07 , 4G076AB18 , 4G076AC02 , 4G076BA15 , 4G076BA43 , 4G076BC02 , 4G076BC07 , 4G076BD02 , 4G076BD06 , 4G076BE11 , 4G076BF05 , 4G076CA02 , 4G076CA26 , 4G076CA40 , 4G076DA11 , 4G076DA30

前のページに戻る