特許
J-GLOBAL ID：201603019371909412

検査データと組み合わせて設計データを使用するための方法

発明者：
ザファー,クーラム

ザファー,クーラム について

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ケカレ,サーガル

ケカレ,サーガル について

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チャン,エリス

チャン,エリス について

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パーク,アレン

パーク,アレン について

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ローズ,ピーター

ローズ,ピーター について


出願人/特許権者：
ケーエルエー-テンカー コーポレイション

ケーエルエー-テンカー コーポレイション について


代理人 (2件)： 山川 茂樹 ,  山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-033030
公開番号（公開出願番号）：特開2016-106228
出願日： 2016年02月24日
公開日（公表日）： 2016年06月16日
要約：
【課題】検査データと組み合わせて設計データを使用するためのさまざまな方法及びシステムが実現される。【解決手段】設計データ空間における検査データの位置を決定するための一コンピュータ実施方法は、ウェハ上のアライメント部位に対する検査システムにより取り込まれたデータを所定のアライメント部位に対するデータにアラインさせることを含む。この方法は、さらに、設計データ空間における所定のアライメント部位の位置に基づいて設計データ空間におけるウェハ上のアライメント部位の位置を決定することを含む。それに加えて、この方法は、設計データ空間におけるウェハ上のアライメント部位の位置に基づいて設計データ空間における検査システムによりそのウェハについて取り込まれた検査データの位置を決定することを含む。一実施形態では、検査データの位置は、サブピクセル精度で決定される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
設計データを検査データと組み合わせて使用するための方法であって、 前記検査データを得るために、検査ツールを用いてウェハを検査することと、 前記設計データを提供することと、 前記検査データを前記設計データと組み合わせることにより、前記ウェハ上の欠陥を決定することと を含む方法。
IPC (2件)：
G01N 21/956 ,  H01L 21/66
FI (2件)：
G01N21/956 A ,  H01L21/66 Z
Fターム (18件)：
2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051BB05 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CB07 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA14 ,  2G051EC01 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  4M106AA01 ,  4M106AA09 ,  4M106CA38
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)

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