脱泡方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：丹羽宏之 , 中村英子 , 西尾美良
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-524554
特許番号：特許第6012730号
出願日： 2012年07月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】含泡液体を、細孔を有する壁面に向けて加圧移送させる含泡液体供給工程と、前記壁面の細孔内で気泡を集合拡大させる気泡拡大工程と、前記壁面の細孔を通過した含泡液体を減圧容器内で気泡を吸引排気する脱気吸排処理工程と、前記減圧容器内の減圧状態を調節自在に減圧する減圧管を備えた減圧調整管工程と、脱泡処理された液体を取り出す液体移送工程と、より成り、前記気泡拡大工程の前段に壁面表面を摺動する気泡引掻処理工程を設けて成ることを特徴とする脱泡方法。

IPC (1件)：