特許
J-GLOBAL ID：201603019483238529
欠陥検査方法および欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-045381
特許番号：特許第6010711号
出願日： 2016年03月09日
要約：
【課題】表面に線状パターンが形成されるワークの欠陥を検査する欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】ワーク9の表面に形成された線状パターンである突条92の欠陥を検査するために、突条92に沿って検査画像Pを順次撮影する撮影工程と、検査画像Pに対して順次欠陥検査を行う検査工程と、を有し、検査工程では、検査画像Pに含まれる突条92の先端面の輪郭の連続性および画像面積に基づいて欠陥を判定する。撮影工程では、ワーク9の加工プログラムから得られる突条92の形状データに従ってカメラ3を移動させる。
【選択図】図4
請求項（抜粋）：
【請求項1】加工プログラムに従って動作する加工装置により表面に線状パターンが形成されたワークに対し、前記線状パターンの欠陥を検査する欠陥検査方法であって、
前記加工プログラムに含まれる前記線状パターンの形状データに基づいて、前記線状パターンに沿って検査画像を順次撮影する撮影工程と、前記検査画像に対して順次欠陥検査を行う検査工程と、を有し、
前記検査工程では、前記検査画像に含まれる前記線状パターンの連続性および画像面積の少なくともいずれかに基づいて欠陥を判定する、ことを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ( 200 6.01)
, G01B 11/24 ( 200 6.01)
, G01B 11/28 ( 200 6.01)
G01N 21/956 Z
, G01B 11/24 K
, G01B 11/28 H
