特許
J-GLOBAL ID:201603019526802296

偏光制御素子、近接場光源、および並列電子線装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  福田 浩志
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2013067729
公開番号(公開出願番号):WO2014-003146
出願日: 2013年06月27日
公開日(公表日): 2014年01月03日
要約:
直線偏光を軸対称偏光に変換する偏光制御素子(10)を、透光性を有する基板(20)と、基板(20)上の放射状に分割された複数の分割領域の各々に設けられた、前記複数の分割領域ごとに方向を異ならせ、かつ間にスリット(24)を有するように延伸されるとともに、前記複数の分割領域の1つの延伸方向を基準とした場合に、隣接する分割領域の延伸方向の前記基準の延伸方向とのなす角度が、周方向に増加、または減少する方向とされている複数の金属(22)を含んで構成された複数の波長板(12a、12b、12c、12d)を含む偏光変換部とを備えて構成した。
請求項(抜粋):
透光性を有する基板と、 前記基板上の放射状に分割された複数の分割領域の各々に設けられた、前記複数の分割領域ごとに方向を異ならせ、かつ間にスリットを有するように延伸されるとともに、前記複数の分割領域の1つの延伸方向を基準とした場合に、隣接する分割領域の延伸方向の前記基準の延伸方向とのなす角度が、周方向に増加、または減少する方向とされている複数の金属を含んで構成された複数の波長板を含む偏光変換部と、 を備えた偏光制御素子。
IPC (2件):
G02B 5/30 ,  H01J 37/06
FI (2件):
G02B5/30 ,  H01J37/06 Z
Fターム (9件):
2H149AA21 ,  2H149AB06 ,  2H149BA04 ,  2H149BA23 ,  2H149FA41W ,  2H149FA42Z ,  2H149FA43Z ,  5C030BB17 ,  5C030BC09

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