化学増幅型ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、有機EL表示装置および液晶表示装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013062027
公開番号（公開出願番号）：WO2013-161862
出願日： 2013年04月24日
公開日（公表日）： 2013年10月31日
要約：

感度が高く、寸法安定性に優れ、密着性に優れ、かつ、加熱後も高い透過率を維持することが可能な感光性樹脂組成物の提供。(A)下記(1)および(2)の少なくとも一方を満たす重合体を含む重合体成分、(1)(a1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位、および(a2)架橋性基を有する構成単位、を有する重合体、(2)(a1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有する重合体、および(a2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体、(S)下記一般式(S)で表される化合物、(一般式(S)中、R1、R2およびR3は、それぞれ、置換基であり、R1、R2およびR3のうち少なくとも1つは、下記(S-1)を満たす置換基である。)(S-1)(A)重合体成分と一般式(S)で表される化合物の間で、または、一般式(S)で表される化合物同士の間で、酸および/または150°C以上の加熱により架橋し得る官能基を有する置換基である。(B)光酸発生剤、ならびに(D)溶剤を含有する化学増幅型ポジ型感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)下記(1)および(2)の少なくとも一方を満たす重合体を含む重合体成分、 (1)(a1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位、および(a2)架橋性基を有する構成単位、を有する重合体、 (2)(a1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有する重合体、および(a2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体、 (S)下記一般式(S)で表される化合物、一般式(S)

IPC (7件)：

G03F 7/004 , G03F 7/039 , G03F 7/40 , H01L 51/50 , H05B 33/22 , H01L 21/027 , G02F 1/133

FI (9件)：

G03F7/004 501 , G03F7/004 503A , G03F7/039 601 , G03F7/40 501 , H05B33/14 A , H05B33/22 Z , H01L21/30 502R , G02F1/1333 505 , G03F7/004 502

Fターム (70件)：

2H125AC01 , 2H125AC38 , 2H125AE06P , 2H125AE08P , 2H125AE13P , 2H125AE15P , 2H125AE18P , 2H125AE22P , 2H125AF17P , 2H125AF35P , 2H125AF52P , 2H125AH04 , 2H125AH06 , 2H125AH22 , 2H125AH29 , 2H125AJ14X , 2H125AJ14Y , 2H125AJ44Y , 2H125AJ52X , 2H125AJ63X , 2H125AJ63Y , 2H125AJ64X , 2H125AJ64Y , 2H125AJ66X , 2H125AM26P , 2H125AM27P , 2H125AN23P , 2H125AN24P , 2H125AN25P , 2H125AN29P , 2H125AN31P , 2H125AN33P , 2H125AN36P , 2H125AN39P , 2H125AN72P , 2H125AN78P , 2H125AN82P , 2H125AN88P , 2H125BA01P , 2H125BA05P , 2H125BA09P , 2H125BA11P , 2H125BA22P , 2H125BA26P , 2H125BA32P , 2H125CA22 , 2H125CA24 , 2H125CB02 , 2H125CB03 , 2H125CB05 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H190HA06 , 2H190HB12 , 2H190HC11 , 2H190HD03 , 2H196AA27 , 2H196AA28 , 2H196BA11 , 2H196EA02 , 2H196EA04 , 2H196HA01 , 2H196HA03 , 3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC05 , 3K107CC35 , 3K107CC45 , 3K107DD90 , 3K107DD97

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