特許
J-GLOBAL ID：201603019739689850
基板検出システム及び基板検出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-512247
特許番号：特許第5987976号
出願日： 2013年04月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板が装着される基板装着領域が定義された基板装着面を有し、前記基板装着面の少なくとも前記基板装着領域の一部を含む検査領域に検出マークが配置された基板キャリアと、
前記基板が装着された前記基板装着面を、前記検査領域が含まれるように撮影して判定用画像を取得する撮像装置と、
前記検出マークの前記基板装着領域に配置された部分の画像が前記判定用画像に含まれていない場合に前記基板が前記基板装着面に正常に装着されていると判定し、前記部分の画像が前記判定用画像に含まれている場合に前記基板が前記基板装着面で正常な位置に装着されていない又は正常な姿勢で装着されていないと判定する判定装置とを備えることを特徴とする基板検出システム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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