特許

J-GLOBAL ID：201603019901566228

熱式流量計

発明者： 森野 毅
出願人/特許権者： 日立オートモティブシステムズ株式会社
代理人 (3件)： 平木 祐輔 ,  関谷 三男 ,  渡辺 敏章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-145696
公開番号（公開出願番号）：特開2015-017903
特許番号：特許第5981397号
出願日： 2013年07月11日
公開日（公表日）： 2015年01月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 被計測気体が流れる通路内で、該通路を流れる被計測気体との間で熱伝達面を介して熱伝達を行うことにより、前記被計測気体の流量を計測する熱式流量計であって、 前記熱伝達面を形成する薄膜領域が設けられた半導体部材と、 前記薄膜領域に設けられて前記被計測気体を加熱する発熱体と、 前記薄膜領域でかつ前記発熱体よりも上流側の領域である上流領域における前記被計測気体の流れ方向の温度差と、前記薄膜領域でかつ前記発熱体よりも下流側の領域である下流領域における前記被計測気体の流れ方向の温度差の少なくとも一方を検出する温度差検出手段と、 該温度差検出手段により検出した温度差に基づいて前記薄膜領域の熱容量を算出する熱容量算出手段と、 該熱容量算出手段により算出した熱容量に基づいて前記薄膜領域の熱伝導率の変化量を推測する熱伝導率変化量推測手段と、 を有することを特徴とする熱式流量計。

IPC (4件)：

G01F 1/698 ( 200 6.01) ,  G01F 1/00 ( 200 6.01) ,  G01P 5/10 ( 200 6.01) ,  G01P 5/12 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G01F 1/698 Z ,  G01F 1/00 W ,  G01P 5/10 A ,  G01P 5/12 M