熱式流量計

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：平木祐輔 , 関谷三男 , 渡辺敏章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-160820
公開番号（公開出願番号）：特開2015-031580
特許番号：特許第5968279号
出願日： 2013年08月01日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】主通路から取り込まれた被計測気体を流すための副通路と、該副通路を流れる被計測気体との間で熱伝達を行うことにより前記被計測気体の流量を計測するための流量検出素子とを備える熱式流量計であって、該熱式流量計は、前記流量検出素子と、該流量検出素子からの出力信号に基づいて前記被計測気体の流量を演算する集積回路と、が搭載された回路パッケージと、該回路パッケージを収納するとともに前記副通路が形成されたケーシングと、を備えており、前記集積回路は、抵抗体を有したアナログ回路を備えており、該アナログ回路の前記抵抗体に隣接した位置には、熱応力を起因として前記抵抗体に発生する歪量を検出する歪量検出部が配置されており、前記集積回路は、該歪量検出部からの検出された歪量に基づいて、前記アナログ回路の出力値を補正する出力値補正部をさらに備えることを特徴とする熱式流量計。

IPC (3件)：

G01F 1/698 ( 200 6.01) , G01F 1/00 ( 200 6.01) , G01P 5/12 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01F 1/698 Z , G01F 1/00 W , G01P 5/12 M

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