特許

J-GLOBAL ID：201603020099517990

マグネットシート、それを使用する成膜方法及びタッチパネル

発明者： 水村 通伸
出願人/特許権者： 株式会社ブイ・テクノロジー
代理人 (3件)： 小川 護晃 ,  西山 春之 ,  奥山 尚一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-003393
公開番号（公開出願番号）：特開2016-128597
出願日： 2015年01月09日
公開日（公表日）： 2016年07月14日
要約：

【課題】成膜マスクの開口パターンの粗密による密着性のムラを改善する。【解決手段】複数の開口パターン6を備えた磁性金属材料から成る成膜マスク5に磁場を作用させて吸引し、前記成膜マスク5を被成膜基板に密着させて保持するマグネットシートであって、前記成膜マスク5の前記磁性金属材料が占める体積の大きい領域と小さい領域の面内分布に合わせて前記磁場の強度に面内分布を持たせたものである。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

複数の開口パターンを備えた磁性金属材料から成る成膜マスクに磁場を作用させて吸引し、前記成膜マスクを被成膜基板に密着させて保持するマグネットシートであって、 前記成膜マスクの前記磁性金属材料が占める体積の大きい領域と小さい領域の面内分布に合わせて前記磁場の強度に面内分布を持たせたことを特徴とするマグネットシート。

IPC (1件)：

C23C 14/04

FI (1件)：

C23C14/04 A

Fターム (12件)：

4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA45 ,  4K029BB03 ,  4K029BC09 ,  4K029BD01 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC35 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04