特許
J-GLOBAL ID：201603020242950641
変位検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人信友国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-226601
公開番号（公開出願番号）：特開2014-077752
特許番号：特許第5939956号
出願日： 2012年10月12日
公開日（公表日）： 2014年05月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 繰り返しピッチが一定の目盛を有するトラック部を少なくとも2つ設けられた測定面を有し、前記少なくとも2つのトラック部におけるそれぞれの繰り返しピッチが最短となる方向であるピッチ方向が互いに異なるスケール部と、
前記目盛を読み取り、読み取った目盛に応じて信号を出力する検出部を少なくとも3つ以上有する検出ヘッド部と、を備え、
前記少なくとも2つのトラック部のうち1つのトラック部は、基準トラック部であり、
前記基準トラック部には、少なくとも1つの前記検出部が対向して配置され、
前記少なくとも2つのトラック部のうち残りのトラック部は、サブトラック部であり、
前記サブトラック部には、少なくとも1つの前記検出部が対向して配置され、
前記スケール部と前記検出ヘッド部が、前記スケール部の前記測定面に沿って相対的に移動したとき、少なくとも3つ以上の前記検出部によって、前記検出ヘッド部が移動する平面と平行な平面上の直交する2つの方向の変位を検出する
ことを特徴とする変位検出装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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