特許
J-GLOBAL ID:201603020315725404
エアスライド装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大関 光弘
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-005202
公開番号(公開出願番号):特開2013-145009
特許番号:特許第5913997号
出願日: 2012年01月13日
公開日(公表日): 2013年07月25日
請求項(抜粋):
【請求項1】 相手部品に対して非接触で移動するスライダを備えたエアスライド装置であって、
前記相手部品は、スライダ進行方向に対して垂直な方向において互いに異なる角度を有する磁性を帯びた二つのスライダ案内面を備え、
前記スライダは、
前記二つのスライダ案内面のうちの一方のスライダ案内面と対面する第一の面、および、他方のスライダ案内面と対面する第二の面を備えたスライドプレートと、
前記第一の面に固定して取り付けられ、前記第一の面と対面する前記一方のスライダ案内面を引き寄せる磁力を発生させる第一の磁力発生手段と、
前記第二の面に固定して取り付けられ、前記第二の面と対面する前記他方のスライダ案内面を引き寄せる磁力を発生させる第二の磁力発生手段と、
前記スライダ進行方向において前記第一の磁力発生手段を挟むように前記第一の面に固定して取り付けられ、前記一方のスライダ案内面と非接触で対面する支持面を有する複数の第一の静圧気体軸受と、
前記スライダ進行方向において前記第二の磁力発生手段を挟むように前記第二の面に取り付けられ、前記他方のスライダ案内面と非接触で対面する支持面および当該支持面と前記他方のスライダ案内面との隙間を均一に保つための調芯手段を有する複数の第二の静圧気体軸受と、を備える
ことを特徴とするエアスライド装置。
IPC (2件):
F16C 32/06 ( 200 6.01)
, F16C 29/02 ( 200 6.01)
FI (3件):
F16C 32/06 A
, F16C 32/06 Z
, F16C 29/02
引用特許:
出願人引用 (4件)
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静圧空気軸受直線案内装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-297043
出願人:日本精工株式会社
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超電導軸受装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-234508
出願人:光洋精工株式会社
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ステージスライダ機構
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-270353
出願人:住友重機械工業株式会社