特許
J-GLOBAL ID：201603020409635433
液体吐出ヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-124836
公開番号（公開出願番号）：特開2013-248804
特許番号：特許第5959941号
出願日： 2012年05月31日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板と、液体を吐出する吐出口を有する流路形成部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
基板上に、ネガ型感光性樹脂層を形成する工程と、
前記ネガ型感光性樹脂層上に、レンズを構成するレンズ層を形成する工程と、
前記レンズを介して前記ネガ型感光性樹脂層を露光し、前記ネガ型感光性樹脂層に吐出口を形成する工程と、
前記レンズ層を除去する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
IPC (1件)：
FI (4件)：
B41J 2/16 509
, B41J 2/16 401
, B41J 2/16 511
, B41J 2/16 513
