炭化珪素除去方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：志賀正武 , 鈴木三義 , 伏見俊介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-127018
公開番号（公開出願番号）：特開2013-251487
特許番号：特許第5933347号
出願日： 2012年06月04日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】炭化珪素を含む付着物が内面に付着した成膜チャンバー内から炭化珪素膜が成膜された基板を取り出した後、前記成膜チャンバーの内面を350°C以上の温度に加熱し、加熱された前記成膜チャンバー内にプラズマ化したフッ素含有ガスを供給して、前記付着物を除去する第1の除去処理、及び前記第1の除去処理後、前記成膜チャンバーの内面に不活性ガスを吹き付けて、前記付着物を除去する第2の除去処理を順次繰り返し行う付着物除去工程と、前記成膜チャンバー内から排出される排ガスに含まれる所定のガスの濃度を分析する工程と、を有し、前記所定のガスの濃度が所定の閾値以下になった際、前記付着物除去工程を終了することを特徴とする炭化珪素除去方法。

IPC (2件)：