プリズム結合システム及び湾曲部品を特徴付ける方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：柳田征史 , 佐久間剛
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-537839
公開番号（公開出願番号）：特表2016-535854
出願日： 2014年08月28日
公開日（公表日）： 2016年11月17日
要約：

湾曲部品(20)を特徴付けるためのプリズム結合システム及び方法の開示である。結合プリズム(40)の結合面(44)が湾曲部品の湾曲外表面にインタフェースされ、結合インタフェース(50)が規定される。結合プリズムを通して3mm以下の幅を有する測定光がインタフェースに誘導される。インタフェースから反射されたTE及びTMモードスペクトルがデジタル的に捕捉される。これ等のモードスペクトルが処理され、湾曲部品の表面応力、応力プロファイル、圧縮応力、層深さ、屈折率プロファイル、複屈折等の少なくとも1つの特性が決定される。

請求項（抜粋）：

湾曲外表面を有する湾曲部品の少なくとも1つの特性を決定する方法であって、結合プリズムの結合面を前記湾曲外表面にインタフェースさせて結合インタフェースを規定するステップと、前記結合プリズムを通して、3mm以下の幅を有する測定光を前記インタフェースに誘導するステップと、前記インタフェースから反射されたTE及びTMモードスペクトルをデジタル的に捕捉するステップと、前記TE及びTMモードスペクトルを処理し、前記湾曲部品の前記少なくとも1つの特性を決定するステップと、を有して成ることを特徴とする方法。

IPC (3件)：

G01N 21/23 , G01L 1/24 , G01N 21/01

FI (3件)：

G01N21/23 , G01L1/24 Z , G01N21/01 Z

Fターム (14件)：

2G059AA03 , 2G059BB08 , 2G059BB15 , 2G059EE02 , 2G059EE04 , 2G059EE05 , 2G059EE12 , 2G059GG01 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059JJ11 , 2G059JJ12 , 2G059JJ19 , 2G059KK04

引用特許：

審査官引用 (3件)

表面応力測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-084415 出願人：有限会社折原製作所, 旭硝子株式会社
特開昭53-136886
特開昭63-032338

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