【請求項1】 光導波路を有する窒化物半導体発光素子であって、
当該半導体発光素子は、基板上に、n型の第1クラッド層と、活性層と、p型のガイド層と、第2クラッド層とを少なくともこの順に含み、
前記第2クラッド層は、透明導電体によって構成された透明導電体層と、当該透明導電体層よりも前記活性層側に形成され、p型のAlxInyGa1-x-yN(0
IPC (2件):
H01S 5/20 ( 200 6.01)
, H01S 5/343 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01S 5/20 610
, H01S 5/343 610
引用特許:
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