特許

J-GLOBAL ID：201603021450961475

光電変換装置の製造方法

発明者： 松島 徳彦 ,  横田 裕子 ,  石川 信哉 ,  猪股 洋介
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-218319
公開番号（公開出願番号）：特開2014-072433
特許番号：特許第5964713号
出願日： 2012年09月28日
公開日（公表日）： 2014年04月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板上にI-III-VI族化合物を主に含む光電変換層を形成する光電変換層形成工程と 、 前記光電変換層上に透明電極を形成する透明電極形成工程とを備え、 該透明電極形成工程は、前記光電変換層上に水分を供給する水分供給工程と、前記透明電極の成膜時の温度まで前記基板を昇温する加熱工程と、該加熱工程後にアルキル亜鉛含有化合物ガス、ドーパント含有化合物ガスおよび水蒸気を反応させて、前記水分が供給された前記光電変換層上に前記透明電極を成膜する成膜工程とを有し、 前記水分供給工程は、前記成膜工程よりも前に行なう、光電変換装置の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 31/0749 ( 201 2.01) ,  H01L 31/18 ( 200 6.01) ,  C23C 16/40 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 31/06 460 ,  H01L 31/04 420 ,  C23C 16/40