研究者
J-GLOBAL ID：201701012550458020   更新日: 2018年02月16日

陳 遠流

チン エンリユウ | Chen Yuanliu
所属機関・部署：
東北大学 大学院工学研究科・工学部 ファインメカニクス専攻 ナノメカニクス講座 精密ナノ計測学分野

東北大学 大学院工学研究科・工学部 ファインメカニクス専攻 ナノメカニクス講座 精密ナノ計測学分野 について


職名： 准教授
ホームページURL (2件)： http://db.tohoku.ac.jp/whois/detail/e45228dc26dcc93485b725f7ada2bbf6.html ,  http://db.tohoku.ac.jp/whois/e_detail/e45228dc26dcc93485b725f7ada2bbf6.html
研究キーワード (1件)： 精密ナノ加工計測
競争的資金等の研究課題 (2件)：
  • 2015 - 現在 精密光計測
  • 2014 - 現在 微細パターンの創成及びインプロセス計測
受賞 (3件)：
  • 2016/08/25 - The Conference Board and Programme Committee of the 5th NanoMan conference Best Paper Award
  • 2015/03/21 - 中国機械学会 中国機械学会Hiwin博士論文賞
  • 2013/12/01 - 日本機械学会 生産加工・工作機械部門 Young Researcher Award
所属学会 (2件)：
日本機械学会 ,  精密工学会
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