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J-GLOBAL ID：201702210332897125   整理番号：17A0873488

ダイヤモンドライクカーボン膜の構造解析と国際標準化

The structural analysis and international standardization of a diamond-like carbon film

著者 (1件)： 神田一浩 (兵庫県大 高度産業科技研)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 86  号： 7  ページ： 558-564  発行年： 2017年07月10日 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ダイヤモンドライクカーボン(DLC)と呼ばれるアモルファスカーボン薄膜やその関連材料は,優れた耐久性や安価な生産性などによって多様な産業において用いられ,昨今の技術革新の根幹を担っている。DLC膜は,膜中のsp²混成軌道をもつ炭素原子,sp³混成軌道をもつ炭素原子,ならびに水素元素の組成比によってその膜質が大きく影響される。しかし,構造解析が難しく,標準的な評価方法が確立されていないことから,その理解と制御を困難にし,基本的な定義・分類がなされていなかった。本稿では,DLC膜の国際標準規格制定に至る経緯とその骨格となった構造解析方法を概説し,今後の動向を解説する。(著者抄録)

シソーラス用語： *ISO規格 ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  *構造解析 ,  軌道 ,  *薄膜 ,  分子軌道 ,  混成軌道
準シソーラス用語： 国際標準規格 ,  *ダイヤモンドライクカーボン

分類 (2件)： 技術の標準化・規格  (HA02000V) ,  無機化合物の結晶構造一般  (BK07001T)

引用文献 (31件)：

• 鈴木秀人,池永勝:事例で学ぶDLC成膜技術(日刊工業新聞社,2003).
• 池永勝:高機能化のためのDLC成膜技術(日刊工業新聞社,2007).
• 三菱樹脂,DLC塗装ペットボトルがミカフェートのコーヒー豆容器に採用(日刊工業新聞,2016年3月23日).
• ドライコーティング受託加工市場に関する調査結果2012(矢野経済研究所,2012年9月7日).
• W. Jacob and W. Moller: Appl. Phys. Lett. 63, 1771 (1993).

タイトルに関連する用語 (3件)： ダイヤモンドライクカーボン ,  構造解析 ,  標準化