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J-GLOBAL ID：201702210334098324   整理番号：17A0544627

熱振動法と改良熱振動法を使用して測定したAFMカンチレバー剛性とMEMSを用いたSIトレーサブル法による剛性との比較

Comparing AFM cantilever stiffness measured using the thermal vibration and the improved thermal vibration methods with that of an SI traceable method based on MEMS

著者 (8件)： BRAND Uwe (Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig, DEU) ,  GAO Sai (Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig, DEU) ,  ENGL Wolfgang (NanoWorld Serv. GmbH, Erlangen, DEU) ,  SULZBACH Thomas (NanoWorld Serv. GmbH, Erlangen, DEU) ,  STAHL Stefan W (Ludwig-Maximilians-Univ. (LMU), Munich, DEU) ,  MILLES Lukas F (Ludwig-Maximilians-Univ. (LMU), Munich, DEU) ,  NESTEROV Vladimir (Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig, DEU) ,  LI Zhi (Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig, DEU)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 28  号： 3  ページ： 034010,1-12  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： AFM用カンチレバーの剛性を較正するための新規手法を開発した。本手法ではマイクロ電気機械システム(MEMS)アクチュエータを用い,その適用範囲は0.03~300N m^-1であり,SI単位へのトレーサビリティを確立した。熱振動法および,改良熱振動法で較正したカンチレバーを本手法で評価した。その結果,前者カンチレバー剛性の偏差量は+7.7%,後者は+6.9%であった。

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  片持梁 ,  *剛性試験 ,  *MEMS ,  *アクチュエータ
準シソーラス用語： *カンチレバー ,  *熱振動

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 熱振動 ,  AFM ,  カンチレバー ,  剛性 ,  MEMS ,  Si ,  トレーサ