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J-GLOBAL ID：201702210675444082   整理番号：17A1056810

フレキシブルZnOナノロッドベースデバイスのためのスパッタしたZnO透明導電性シード層の最適化【Powered by NICT】

Optimization of sputtered ZnO transparent conductive seed layer for flexible ZnO-nanorod-based devices

著者 (6件)： Novak Petr (New Technologies - Research Centre, University of West Bohemia, Univerzitni 8, 306 14 Plzen, Czech Republic) ,  Briscoe Joe (School of Engineering and Material Science, Queen Mary University of London, UK) ,  Kozak Tomas (Department of Physics and NTIS - European Centre of Excellence, University of West Bohemia, Czech Republic) ,  Kormunda Martin (Faculty of Science, Department of Physics, University of J.E. Purkyne in Usti nad Labem, Ceske mladeze 8, 40096 Usti nad Labem, Czech Republic) ,  Netrvalova Marie (New Technologies - Research Centre, University of West Bohemia, Univerzitni 8, 306 14 Plzen, Czech Republic) ,  Bachrata Stepanka (New Technologies - Research Centre, University of West Bohemia, Univerzitni 8, 306 14 Plzen, Czech Republic)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 634  ページ： 169-174  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高分子基板上の無機透明導電性酸化物膜の作製は,フレキシブルエレクトロニクスの分野での潜在的な用途により関心を増してきた。本研究の主題は,ZnOナノロッドベースデバイスにおけるアルミニウム酸化亜鉛(AZO)膜によって優先的に使用されているインジウムすず酸化物膜を置換し,ナノロッド成長のためのシード層の役割を組み合わせた100Ω/sqより低いシート抵抗を示した。厚さ300nmまでの調べたAZO薄膜は,(i)ZnO/Al_2O_3ターゲットから高周波マグネトロンスパッタリングと(ii)アルゴン雰囲気中でZnOとAlターゲットからの同時スパッタリングにより厚み150μmのポリエチレンテレフタレート基板上に堆積した。160nmとシート抵抗の良好な透明度と厚さ100Ω/sq以下でAZO膜を共スパッタリングで調製した。同時スパッタリングは,AZO膜中のAl原子の活性化のために低い膜抵抗率をもたらすことが分かった。ZnOナノロッド成長は両タイプの膜で実証された,同時スパッタしたAZO膜は,純粋な(非ドープ)ZnO膜で被覆されたZnOナノロッド形態を改善した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 酸化膜 ,  透明度 ,  *ナノロッド ,  マグネトロンスパッタリング ,  アルミニウム ,  *酸化亜鉛 ,  シート抵抗 ,  *導電性 ,  ドーピング ,  薄膜 ,  ポリエチレンテレフタレート
準シソーラス用語： RFマグネトロンスパッタリング ,  透明導電性酸化物 ,  *シード層 ,  *酸化亜鉛ナノロッド , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： フレキシブル基板 ,  酸化亜鉛 ,  Nanorods ,  アルミニウムドープ酸化亜鉛 ,  シード層 ,  マグネトロンスパッタリング ,  透明導電性酸化物

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： ZnOナノロッド ,  スパッタ ,  ZnO ,  導電性 ,  シード層 ,  最適化