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J-GLOBAL ID：201702210884251840   整理番号：17A0795431

可変同調MEMS磁気センサ【Powered by NICT】

A Tunable MEMS Magnetic Sensor

著者 (4件)： Park Sangtak (Department of Systems Design Engineering, University of Waterloo, Waterloo, ON, Canada) ,  Al-Ghamdi Majed S. (Department of Systems Design Engineering, University of Waterloo, Waterloo, ON, Canada) ,  Khater Mahmoud E. (Department of Mechanical Engineering, King Fahd University of Petroleum and Minerals, Dhahran, Saudi Arabia) ,  Abdel-Rahman Eihab (Department of Systems Design Engineering, University of Waterloo, Waterloo, ON, Canada)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 26  号： 1  ページ： 255-263  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,調整可能なMEMS磁場センサを紹介した。は外部磁場の強度を測定するためにLorentz力によって励起されたねじり振動を用いた。センサ感度とダイナミックレンジはdcバイアスを変えることによりオンザフライ調整できた。実験実証はバイアス電圧を真空中で0Vから5Vまで変化するバイアス電圧は空気中と0.038~0.955V/mTの範囲で0から6Vまで変化するとセンサの感度は0.139~0.283V/mTの範囲で調整できることを示した。センサは,強制または共鳴モードのいずれかで動作できるが,その第一ねじれ共鳴付近で動作する場合には,より高い感度と帯域幅を達成した。[2015 0285]Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 帯域幅 ,  *センサ ,  外部磁場 ,  ダイナミックレンジ ,  *MEMS ,  ねじり変形 ,  Lorentz力 ,  バイアス ,  *磁気センサ ,  共鳴 ,  ねじり振動
準シソーラス用語： 共振モード ,  バイアス電圧 ,  *可変同調 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 可変同調 ,  MEMS ,  磁気センサ