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J-GLOBAL ID：201702210928197772   整理番号：17A1647943

表面トレンチを有するグラフェンナノ電気機械接点スイッチの有限要素法シミュレーション【Powered by NICT】

Finite element method simulation of graphene nanoelectromechanical contact switches with surface trenches

著者 (5件)： Jothiramalingam Kulothungan (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology, Nomi, Ishikawa 923-1292, Japan) ,  Manoharan Muruganathan (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology, Nomi, Ishikawa 923-1292, Japan) ,  Schmidt Marek E. (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology, Nomi, Ishikawa 923-1292, Japan) ,  Wang Wenzhen (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology, Nomi, Ishikawa 923-1292, Japan) ,  Mizuta Hiroshi (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology, Nomi, Ishikawa 923-1292, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICEDSS  ページ： 137-141  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,溝を持つ二重にクランプされたグラフェンナノ電気機械(NEM)スイッチの動的接触の影響を検討した。五種類の深さを持つトレンチは,有限要素法シミュレーションを用いた素子性能に及ぼすそれらの影響を研究するために用いた。集中平行板キャパシタモデルの修正形式を用いて,溝を持つNEMスイッチを記述することである。プルインとプルアウトスイッチング特性,接触圧,および溝を持つNEMスイッチの反力を詳細に検討した。これらの結果は,高い機械的信頼性を用いた高速NEMスイッチを設計するための良好な理論的ガイドラインを提供した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 反力 ,  クランプ ,  接触圧 ,  *スイッチ ,  信頼性 ,  高速度 ,  *電気機械
準シソーラス用語： *FEMシミュレーション , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  継電器・スイッチ  (NA05060K)

タイトルに関連する用語 (3件)： トレンチ ,  電気機械 ,  有限要素法シミュレーション