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J-GLOBAL ID:201702211542695221   整理番号:17A1482909

エーロゾル支援化学蒸着により作製したSbをドープしたSnO_2薄膜の構造的,形態的,光学的および電気的特性【Powered by NICT】

Structural, morphological, optical and electrical properties of Sb-doped SnO2 thin films obtained by aerosol assisted chemical vapor deposition
著者 (6件):
資料名:
巻: 638  ページ: 22-27  発行年: 2017年 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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本研究では,透明導電性酸化物としての応用の可能性のためのアンチモンをドープした酸化すず薄膜の合成と特性評価を報告した。アンチモンドープ酸化スズの薄膜をエアロゾル支援化学蒸着により堆積した。表面形態と微細構造を電界放出形走査電子顕微鏡により調べた。X線回折の結果は,いくつかの試料中の二種の酸化すず相の存在(30~120nmの厚さから)と140nm以上の厚さの試料でのみ錫石相を示した。試料の光学的性質は,全透過率スペクトルにより分析した。膜の電気抵抗率はシート抵抗法によって得た。試料の電気的性質と伝導型をHall効果法により決定した。結果は純粋な酸化スズに比べて六桁までを減少させ,10~ 4Ωcmのオーダーの抵抗率を得るアンチモンをドープしたすず酸化物材料における低い抵抗率を示した。熱処理はいくつかの材料に行い,その抵抗率を減少させなかったので安定性が観察され,加えて熱処理はHall移動度を改善した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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酸化物薄膜 

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