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J-GLOBAL ID：201702211769917964   整理番号：17A0526750

周波応答が高く横方向効果の低い圧電抵抗微小加速度計

A piezoresistive micro-accelerometer with high frequency response and low transverse effect

著者 (8件)： WANG Peng (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi Province, CHN) ,  ZHAO Yulong (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi Province, CHN) ,  TIAN Bian (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi Province, CHN) ,  LIU Yan (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi Province, CHN) ,  LIU Yan (Xidian Univ., Shaanxi Province, CHN) ,  WANG Zixi (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi Province, CHN) ,  LI Cun (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi Province, CHN) ,  ZHAO You (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi Province, CHN)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 28  号： 1  ページ： 015103,1-9  発行年： 2017年01月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高速工作機械の振動信号を測定するために,四個の小さな検知梁と四個の懸垂梁を組合せた構造を持つ微小圧電抵抗加速度計を開発した。加速度計の固有振動数と感度のトレードオフを改善するために,8梁構造を設計した。構造の固有振動数と検知梁上の応力を理論的に計算し,有限要素法で立証した。圧電抵抗器の構成は横方向効果を有意に低下させた。実験でもこれを確認した。センサの固有振動数は最高14.8kHzで,高速工作機械スピンドルの加速度計への要件を充たした。設計した加速度計の感度は1.05mV/g/8Vであった。x軸とy軸の感度はそれぞれ1μV/gと8μV/gであった。

シソーラス用語： 電気抵抗 ,  *圧電素子 ,  *加速度計 ,  *工作機械 ,  *スピンドル ,  信号 ,  振動 ,  機械振動 ,  小梁 ,  有限要素法
準シソーラス用語： 圧電抵抗 ,  *圧電抵抗素子 ,  *工作機械スピンドル ,  振動信号 ,  *微小加速度計 ,  微小梁

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 応答 ,  横方向 ,  圧電抵抗 ,  微小加速度計