ナノSIMS50高質量分解能を用いた大走査体上の二次イオンイメージングに適用される動的移動【Powered by NICT】

Slodzian Georges; Wu Ting-Di; Wu Ting-Di; Duprat Jean; Engrand Cecile; Guerquin-Kern Jean-Luc; Guerquin-Kern Jean-Luc

文献

J-GLOBAL ID：201702211982821529 整理番号：17A1708039

ナノSIMS50高質量分解能を用いた大走査体上の二次イオンイメージングに適用される動的移動【Powered by NICT】

Dynamic transfer applied to secondary ion imaging over large scanned fields with the nanoSIMS 50 at high mass resolution

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資料名：
巻： 412 ページ： 123-173 発行年： 2017年
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

動的移動はプローブ影響からスパッタされたイオンを分析のために設計された質量分析計を備えた走査イオンプローブを結合するのに用いる適応光学手法である。その調整は大きな走査体上の均一な信号収集を得ると,高い質量分解能の文脈における口径食の自由走査画像のための非常に重要である。NanoSIMS50装置の光学設計を再検討し,レンズの同じセットは,試料に及ぼす一次イオンプローブを焦点を当て,試料からの二次イオンを収集し,動的伝達調整を達成し,機器の欠陥を克服するために新しい実験法を開発した。訂正プローブ非点収差に使用される八重極により誘導される可能性があることを走査歪の場合と走査画像に対する既約口径食を引き起こす可能性がある。プローブ焦点の鮮鋭度に一時的に阻害することにより完全な調整手順を開発することが可能であることを示した。最も重要なことは,著者らは,高い質量分解能との関連で,移動が外部コイルは周囲磁場を補償するために適切に調整を示した大きな走査体上の同位体比を妨害しないことを示した。深化法はプローブの走査中心は低温の画像中心と一致しない可能性があることを実証した,同軸対物レンズは,プローブを形成し,二次イオンを抽出する。二中心をもたらす同時計数に大きな体上のより良い画像品質をもたらしたことを確認した。本研究では,分光計に入る前にそれを位置決めするために二次ビームを処理する方法を示した。能力はスペクトロメータの与えられた入口軸上の二次ビーム軸の整列による高質量分解能での透過を最適化するために必須である。これらの結果は,非点収差補正を行うとき走査歪みを防止するために一次イオンプローブカラムにおける付加的八重極上流の重要な関心を含む幾つかのツール改良と同時に走査と画像中心をもたらす一次ビーム偏向板をオフセットする可能性を提案した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

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質量分析 , 加速器一般及び理論 , 電子レンズ,電子エネルギー分析器

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