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J-GLOBAL ID：201702212101900028   整理番号：17A0617668

数層の黒リンを用いた空気安定性湿度センサ

Air-Stable Humidity Sensor Using Few-Layer Black Phosphorus

著者 (6件)： MIAO Jinshui (Michigan State Univ., Michigan, USA) ,  CAI Le (Michigan State Univ., Michigan, USA) ,  ZHANG Suoming (Michigan State Univ., Michigan, USA) ,  NAH Junghyo (Chungnam National Univ., Daejeon, KOR) ,  YEOM Junghoon (Michigan State Univ., Michigan, USA) ,  WANG Chuan (Michigan State Univ., Michigan, USA)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 9  号： 11  ページ： 10019-10026  発行年： 2017年03月22日 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： グラフェン及び遷移金属ジカルコゲナイド(TMD)等の,二次元(2D)ファンデルワールス結晶は,それらの独特の電気的,構造的,および物理化学的特性のために,エレクトロニクスおよびセンシングアプリケーションの有望な展望を示している。本研究では,周囲条件下での数層のBP FETの湿度感知挙動を調査した。BPフレークは周囲条件下で急速に分解することが知られているので,厚さ6nmのAl₂0₃誘電体層を用いて,BPセンサーを保護しそれらの空気中でを安定化した。包括的な特徴付けは,Al₂0₃カプセル化はBPの劣化を効果的に抑制することができ,空気中の長期安定性が劇的に改善されたデバイスが得られ,トレードオフとして,感度がわずかに減少した。最後に,C-V測定を用いてBPデバイスの湿度感知メカニズムを解明した。

シソーラス用語： *黒リン ,  *湿度センサ ,  *大気安定度 ,  *FET【トランジスタ】 ,  *酸化アルミニウム ,  *不動態化 ,  感度
準シソーラス用語： 大気安定性 ,  パッシベーション ,  湿度感度

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  計測機器一般  (AD02000X) ,  湿度測定,湿度計  (AD06020V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 黒リン ,  安定性 ,  湿度センサ