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J-GLOBAL ID：201702212108062001   整理番号：17A1546175

有機発光ダイオードのためのドライフィルムフォトレジストを用いた銀ナノワイヤ透明電極のエッチングフリーパターニング【Powered by NICT】

Etchant-free patterning of silver nanowire transparent electrode using dry-film photoresists for organic light-emitting diodes

著者 (7件)： Kim Sunho (School of Advanced Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon 16419, Republic of Korea) ,  Kim Bongsung (Sungkyunkwan Advanced Institute of Nanotechnology (SAINT), Sungkyunkwan University, Suwon 16419, Republic of Korea) ,  Cho Sung Min (Sungkyunkwan Advanced Institute of Nanotechnology (SAINT), Sungkyunkwan University, Suwon 16419, Republic of Korea) ,  Cho Sung Min (School of Chemical Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon 16419, Republic of Korea) ,  Lee Hoo-Jeong (School of Advanced Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon 16419, Republic of Korea) ,  Lee Hoo-Jeong (Sungkyunkwan Advanced Institute of Nanotechnology (SAINT), Sungkyunkwan University, Suwon 16419, Republic of Korea) ,  Hwang Byungil (BASF Electronic Materials R&D Center Asia, Suwon 16419, Republic of Korea)
資料名： Materials Letters  (Materials Letters)
巻： 209  ページ： 433-436  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0935A  ISSN： 0167-577X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,ドライフィルムフォトレジスト(DFR)を用いて銀ナノワイヤ(AgNW)膜のエッチャントフリーパターン形成を実証した。DFRは簡単な積層によるAgNW膜上に被覆し,フォトマスクを用いたUV光下で硬化した。ストリッピング過程では,硬化したDFRでAgNWが除去されたが,未硬化DFRの場合はそのまま残り,パターン化電極を形成した。50μmの線幅を持つパターン化電極に対しても観察された明確な端。適用可能性を実証するために,パターン化されたAgNW電極をホットプレスを用いた高分子平坦化層中に埋め込まれ,青色有機発光ダイオード(OLED)の底部電極として使用した。AgNW電極を用いて作製したOLEDはインジウムスズ酸化物(ITO)電極を用いて得られたものに類似したエレクトロルミネセンス性能を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 酸化スズ ,  パターン形成 ,  ホットプレス ,  エレクトロルミネセンス ,  フォトマスク ,  高分子 ,  *透明電極 ,  紫外線
準シソーラス用語： 平坦化 ,  線幅 ,  *銀ナノワイヤ ,  *有機EL素子 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 銀ナノワイヤ ,  エッチングフリーパターニング ,  のドライフィルムフォトレジスト ,  有機発光ダイオード

分類 (5件)： 発光素子  (NC03082G) ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B) ,  錯体のルミネセンス  (BM08095R) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 有機発光ダイオード ,  ドライフィルムフォトレジスト ,  銀ナノワイヤ ,  透明電極