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J-GLOBAL ID：201702212114775015   整理番号：17A1058360

スケーリングエーロゾル支援化学蒸着:成長速度と膜特性の間の関係の探求【Powered by NICT】

Scaling aerosol assisted chemical vapour deposition: Exploring the relationship between growth rate and film properties

著者 (6件)： Powell Michael J. (Department of Chemistry, University College London, 20 Gordon Street, London WC1H 0AJ, UK) ,  Potter Dominic B. (Department of Chemistry, University College London, 20 Gordon Street, London WC1H 0AJ, UK) ,  Wilson Rachel L. (Department of Chemistry, University College London, 20 Gordon Street, London WC1H 0AJ, UK) ,  Darr Jawwad A. (Department of Chemistry, University College London, 20 Gordon Street, London WC1H 0AJ, UK) ,  Parkin Ivan P. (Department of Chemistry, University College London, 20 Gordon Street, London WC1H 0AJ, UK) ,  Carmalt Claire J. (Department of Chemistry, University College London, 20 Gordon Street, London WC1H 0AJ, UK)
資料名： Materials & Design  (Materials & Design)
巻： 129  ページ： 116-124  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0495B  ISSN： 0264-1275  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フッ素ドープ酸化スズの薄膜を,エアロゾル支援化学気相蒸着法により,堆積成長速度をスケーリングの影響を研究した。膜の成長速度と蒸着膜の性質に及ぼす前駆体濃度の影響を比較した。膜はX線回折,走査電子顕微鏡,紫外可視分光法,X線光電子分光法およびH all効果測定によって特性化した。約100nmmin~ 1の最大膜成長速度が観察され,これは以前に報告されたエアロゾル支援研究よりも有意に速かった。この方法は,化学量論量を超えるドーピングと制御の容易さを維持しながら高成長速度を送達するためのエーロゾル支援法の能力を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 化学量論 ,  前駆体 ,  *化学蒸着 ,  X線光電子分光法 ,  エアロゾル ,  X線回折 ,  *成長速度 ,  キャラクタリゼーション ,  *蒸着 ,  走査電子顕微鏡 ,  薄膜成長 ,  蒸着膜
準シソーラス用語： 紫外可視分光法 ,  FTO【酸化物】 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： エーロゾル支援CVD ,  透明導電性酸化物 ,  材料処理

分類 (2件)： 機械的性質  (WB02030U) ,  金属材料  (HC05020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 支援 ,  化学蒸着 ,  成長速度 ,  膜特性